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金属氮化物基多元多层陶瓷薄膜制备技术 及其应用

单位名称:广东省科学院 联系人:谢先生 联系方式:13711229592 邮箱:1079017915@qq.com 地址:广州
所属地域
广东省
专业领域
新材料
专利状态
已获得专利
成果权属
本人
项目阶段
批量生产阶段
合作方式
合作开发
合作方拟投入资金
≤100万元

详细介绍

分别利用阴极电弧离子镀和磁控溅射技术技术,开发出一系列高硬度、耐磨、抗冲蚀机械功能金属氮化物(如 TiNZrNCrNTiCNTiAlNCrAlNCrAlSiNCrTiAlNTiN/ZrN 等)薄膜。膜层硬度≥20GPa,可广泛应用于机械制造刀具模具、航空、汽车和五金关键部件等。可根据不同的应用选择不同的涂层,如应用于刀具的抗高温氧化耐磨可选择 TiAlNCrAlNCrAlSiN CrTiAlN,应用于活塞环选择韧性好的 CrN 厚膜,对于抗冲蚀工况,则选择 TiN/ZrN软硬交替膜层。