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喷涂旋转铝靶技术

单位名称:广东省科学院 联系人:谢先生 联系方式:13711229592 邮箱:1079017915@qq.com 地址:广州
所属地域
广东省
专业领域
新材料
专利状态
已获得专利
成果权属
本人
项目阶段
中试阶段
合作方式
股权投资
合作方拟投入资金
≤100万元

详细介绍

随着我国电子信息产业的飞速发展,我国已逐渐成为高端铝靶需求最大地区之一,中国的铝靶市场正日益扩大,其增速高于全球增速,在全球市场中所占份额逐渐提升。2016 年国内半导体用溅射铝靶市场规模突破 14 亿元,国内高纯溅射铝靶市场规模年复合增长率高达 13%。但目前中国利用传统方法制造的铝靶与国外高端铝靶质量和性能还存在较大差距,国内大量高端铝靶还需从国外进口。利用冷喷涂技术替代熔铸和热喷涂方法制备的铝靶具有均质稳定,致密,形状任意,结合强度高,晶粒细小等特点,可大幅度提高铝靶尺寸与性能,可避免溅射过程中的异常放电,镀膜更加均匀,大大地提升了靶材质量和寿命。