固态射频电源-成果/项目供应-广州创新创业服务资源共享平台

固态射频电源

单位名称：广东省科学院 联系人：谢先生 联系方式：02081309552 邮箱：1079017915@qq.com 地址：广州

所属地域

广东省

专业领域

新一代信息技术

专利状态

未申请专利

成果权属

本人

项目阶段

研制阶段

合作方式

合作开发

合作方拟投入资金

≤100万元

详细介绍

固态射频电源，输出频率为 13.56MHz，功率范围 50W‐5kW。应用于射频溅射，PECVD 化学气相沉积，反应离子刻蚀及表面处理等设备中，是半导体、镀膜、射频感应加热、等离子体清洗和医疗美容等行业设备中的核心模块。