项目介绍:该院已成功开发出质量居国际领先的固态紫外光电材料和 性能居国际先进水平的紫外光源芯片,并具备了产业化条件,可 用于医疗杀菌、污水治理、工业固化曝光、太空探测及军事领域, 市场价值巨大。材料和芯片具有以下特点:(1) 近紫外光源基板 位错密度仅 4.6×107 cm-2,368 nm 量子阱内量子效率达到 80% 以上;368 nm 倒装薄膜结构(TFFC)芯片光功率(chip on wafer) 达到 560 mW@350 mA。整体水平与本领域国际领先的 LG 公司相 当,且掌握自主知识产权。(2)深紫外光源基板位错密度仅 4.7×107 cm-2,处于国际领先地位,280 nm 量子阱内量子效率达 到 47%以上;280 nm 深紫外光源实现了电注入发光。
上 述 部 分 成 果 被 国 际 半 导 体 领 域 知 名 媒 体 杂 志 Semiconductor Today 以 Headline News 的形式报道,并多次在 国内和国际会议上以邀请报道的形式被报道。同时,我院在固态 紫外光源方向已布局专利 33 项(授权 11 项),并正在继续布局 大量的高价值专利,保护知识产权。