该技术成果的 DLC 膜主要应用于机械加工行业的精密工模 具、微型钻头和各种精密关键部件(如纺织机械用旋梭、制冷机 用活塞和耐酸泵用芯轴)、航空和船舶用各种耐磨减摩部件,也 可用于医学方面的人工关节等相关植入体材料的表面处理。该技 术具有节约资源、提高效率和提高效益的作用,工模具及部件使 用寿命的提高大大节约了原材料和能源消耗,同时提高了企业的 效率和效益,是一种可持续发展的技术。
相关技术指标: (1) 沉积温度低(<300℃)、硬度大于 2000Hv、膜层厚度 1-6m 可调、摩擦系数小于 0.2;(2)可提高 部件寿命 1 倍以上。该成果获得了包括:广东省科学技术奖(技 术发明类)二等奖、中国有色金属工业科学技术奖一等奖和广东 专利优秀奖在内等 8 个奖项。